日本UNION公司THS-10測量顯微鏡 電池防爆片測量. 是一款基于光學(xué)焦距檢測方法.結(jié)合兩個顯微光學(xué)系統(tǒng)（表面和底面），采用精密對焦指示器的非接觸式厚度測量系統(tǒng)。當(dāng)觀察到準(zhǔn)確的位置和圖象時，既可測量厚度，測量厚度10毫米, 可選:25毫米。本機(jī)采用光學(xué)系統(tǒng)，操作簡單?？汕宄@示準(zhǔn)確的對焦位。（THS-10顯微鏡 THS-10厚度測量顯微鏡 THS-10雙面非測量顯微鏡）

案例:易拉罐沖壓后的厚度測量(波爾,朝日),晶圓厚度的直接測量.

測量步驟

1.在工作臺未放置工件時，垂直移動對焦系統(tǒng)，待兩個顯示器上都顯示對焦的符號后，將Z軸計數(shù)器歸零.

2 放上工件，移動對焦系統(tǒng)，對工件底部對焦。

3.移動上對焦系統(tǒng)，對工件表面對焦。上對焦系統(tǒng)移動的距離即為工件的厚度

測量行程XY 100*100毫米 測量誤差1微米

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